真空泵有兩個重要核心參數就是抽氣量(或抽泣速率)和真空度，抽氣量是影響抽真空度速度快慢的，而真空度是影響抽真空程度的。實際使用中，可能最容易出現的情況就是真空度低，也就是我們常說的真空泵沒勁吸力小。那么，當出現真空度低的時候，我們應當如何操作試著排除故障呢?一般從以下幾個方法去試著排除。
1.檢査連接管接頭是否密封，因為密封不良，大氣壓的作用下會導致空氣重新壓入被抽容器，如果接頭漏氣相當于間接影響了真空泵的抽氣速度，短時間也會表現為真空度不足的情況。
2.檢查工作介質(油或水)，不管是水環式真空泵還是旋片式真空泵，工作介質溫度升高或者混入雜質后都會影響真空度，特別是水環式真空泵的工作介質水溫升高，在低真空狀態更容易發生水汽化，導致被抽的空間重新被部分水汽填滿，從而表現出真空度不足的情況。
3.檢查葉輪或轉子，如果是旋片式真空泵，轉子間隙增大會導致真空度大幅度降低，如果是水環式真空泵，葉輪和分配板與泵體的間隙也會出現真空度降低的情況。
4.更換吸氣量大的真空泵，因為真空度低的另外一個間接原因可能是抽氣速率太低導致，容器不可能100%密封，如果抽氣量太小，無法彌補漏氣導致大氣壓入容器的現象。
以上幾條是真空泵真空度降低的主要原因，如果涉及到拆機檢查的請慎重，因為沒有專業知識或經驗的可能導致裝回去的泵真空度更低。